全球最大光刻机设备制作商ASML近来在其官网宣告，完成了第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的测验。

  据悉，HMI eScan1000是一套根据HMI多光束技能的检测体系，用于验证5nm及更先进工艺产出的晶圆质量，其打破之处在于，可以一起发生、操控九道电子束，协助产能进步600%，大幅度削减晶圆质量剖析所用的时刻。

  业界共同以为，工艺越先进，检测体系就越重要，后者的检测精度、吞吐量决议了出产的功率。ASML的HMI产品营销副总裁Gary Zhang表明，跟着制程工艺不断的进步，晶圆的制作愈加杂乱，“杀手级”的缺点也愈加细小，无法经过现有的光学检测技能和设备逐个确定。

  “咱们的HMI多光束检测体系可以检测到这些细小的缺点，一起处理了电子束经过量的约束，使其更适合于大批量制作环境。”Gary Zhang着重。

  据介绍，HMI多光束体系包括一个杂乱的光电子体系，可以发生和操控多个初级电子束，然后搜集和处理反射回来的次级电子波束，一起将波束之间的串扰约束在2%以内，并供给共同的成像质量。

  此外，该体系还具有进步体系整体吞吐量的高速阶段，以及实时处理来自多个波束的数据流的高速核算体系结构。除了物理缺点外，还适用于电压比照检测。

  官网文章泄漏，HMI eScan1000已于本周交给客户做验证。将来，ASML还方案添加光束数量和光束分辨率，以完成用户未来对更先进工艺的要求。

  据了解，光刻机是半导体制作范畴的中心设备之一，而ASML是全球技能水平最高、影响力最大的光刻设备供货商，市场占有率到达80%，一起也是全球最先进极紫外（EUV）光刻机的仅有供货商。